Optical Associates 曝光系統(tǒng)儀器2000AF

OAI 2000型曝光系統(tǒng)可以配置為邊緣珠曝光系統(tǒng)（2000SM）或泛光曝光系統(tǒng)（2000 AF）；這兩種配置都基于OAI經(jīng)過時間考驗的成熟平臺。

2000型曝光系統(tǒng)的兩個版本都包括紫外線光源、強(qiáng)度控制電源和機(jī)器人基板處理子系統(tǒng)。紫外光源提供可調(diào)節(jié)強(qiáng)度的光束，發(fā)散半角<2.0%。電源的功率范圍為200W至2000W。強(qiáng)度控制器傳感器直接連接到光源，用于精確的強(qiáng)度監(jiān)測。機(jī)器人基板處理系統(tǒng)由微處理器控制，可以編程以適應(yīng)各種基板尺寸。蔭罩功能使用戶能夠在非常靠近蔭罩的情況下對基板的頂部進(jìn)行圖案化。在25μ的分離度下，這些系統(tǒng)能夠達(dá)到6μ的分辨率。

在SM配置中，邊緣焊道曝光系統(tǒng)提供了一種使用標(biāo)準(zhǔn)蔭罩技術(shù)去除邊緣焊道的經(jīng)濟(jì)高效的方法。掩模和基板轉(zhuǎn)換可以快速輕松地完成，增加了這種大批量生產(chǎn)工具的多功能性和產(chǎn)量。

在AF配置中，2000型泛光曝光系統(tǒng)用于增強(qiáng)和/或提升生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境中的光刻工藝。應(yīng)用包括光致抗蝕劑穩(wěn)定和改性、圖像反轉(zhuǎn)和PCM工藝。

2012AF型洪水暴露系統(tǒng)為自動洪水暴露提供了一種經(jīng)濟(jì)高效的方法。

2012SM型自動邊緣焊道曝光系統(tǒng)提供了一種使用標(biāo)準(zhǔn)蔭罩技術(shù)去除邊緣焊道的經(jīng)濟(jì)高效的方法。

這兩種型號都允許快速有效地更換掩模和基板，增加了這種生產(chǎn)工具的多功能性和高產(chǎn)量。此外，它們的設(shè)計可容納8英寸至300毫米的晶圓，該工具具有自動裝載FOUP的功能。

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