oainet 光度計Model 656 儀器

656型光能表

OAI 656型儀表設計用于所有面罩對準器和洪水曝光系統。50多年來，OAI一直是紫外光和能量測量儀器的全 于半導體、MEMS、晶圓封裝和晶圓凸塊行業光刻工藝的可靠精確校準控制。200IR型桌面正面和背面掩模對準器

OAI Model 200IR口罩對準器是一種桌面系統，需要最少的潔凈室空間。它是研發或有限規模試生產的成本效益高的替代方案。利用創新的空氣軸承/真空卡盤調平系統，基板被快速而溫和地調平，以便在接觸曝光期間實現平行光掩模對準和晶片上的均勻接觸。200型紅外掩模對準器能夠達到1微米的分辨率和對準精度。它有一個對準模塊，該模塊具有掩模插入套件和快速更換晶片卡盤，可以使用各種基板和掩模，而不需要重新配置工具。對齊模塊包含X、Y和Z軸的千分尺。

該掩模對準器具有可靠的OAI光源，使用功率從200W到2000W的燈提供近紫外或深紫外的準直紫外光。雙傳感器光學反饋回路與恒定強度控制器相連，將曝光強度控制在所需強度的±2%以內。可以快速且輕松地改變UV波長。200IR型掩模對準器是一種靈活、經濟的解決方案，適用于MEMS、微流體和NIL的任何入門級掩模對準和紫外線曝光應用。

oainet 光度計Model 656 儀器