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MDC玻璃封閉CF法蘭電離測(cè)量管是專(zhuān)為1×10范圍內(nèi)的高真空和超高真空(UHV)測(cè)量而設(shè)計(jì)的精密工具?3至2×10?1? 托(1.3×10?1至2.7×10?? Pa).這些儀表使用Bayard-Alpert電離配置,由電阻絲、帶正電的柵極和帶負(fù)電的集電極組成。
燈絲在加熱時(shí)會(huì)發(fā)射電子,這些電子會(huì)與管內(nèi)的殘留氣體分子碰撞。這會(huì)導(dǎo)致電離,從而根據(jù)收集器接收到的離子電流獲得準(zhǔn)確的壓力讀數(shù)。該設(shè)計(jì)既靈敏又穩(wěn)定,是連續(xù)超高壓系統(tǒng)監(jiān)測(cè)的理想選擇。
Conflat®(CF)法蘭(2-3/4英寸|70毫米)的加入確保了特高壓應(yīng)用的安全、無(wú)泄漏密封,而非燒壞燈絲設(shè)計(jì)可防止意外暴露在大氣中造成損壞。這款0.75英寸(19.05毫米)、1.33英寸(33.78毫米)CF法蘭的玻璃封閉電離計(jì)管可在1×10的壓力范圍內(nèi)提供精確的高真空和超高真空測(cè)量?3至2×10?1? Torr.它通常被稱(chēng)為Bayard-Alpert測(cè)量?jī)x,具有加熱的電阻絲、帶正電的柵極和帶負(fù)電的集電極。這些元素共同作用,使氣體分子電離,并產(chǎn)生與壓力成比例的電子流。該儀表采用耐瞬時(shí)暴露在大氣中的不燒壞燈絲設(shè)計(jì),是連續(xù)超高壓監(jiān)測(cè)的理想選擇。不銹鋼CF法蘭確保了可靠的真空集成的安全密封。
行業(yè)應(yīng)用
這種電離計(jì)適用于要求苛刻的超高壓應(yīng)用,如半導(dǎo)體加工、薄膜沉積、表面科學(xué)、空間模擬和粒子物理研究。其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)、CF法蘭兼容性和對(duì)超低壓的敏感性使其成為需要精確壓力控制的先進(jìn)真空系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。
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