TF5220 | TwinCAT 3 CNC 軸包TF5220 | TwinCAT 3 CNC 軸包1使用 TwinCAT CNC Axes Pack，最多可以擴展 64 個軸/受控主軸，其中最多 32 個路徑軸和最多 12 個受控主軸。

EtherCAT：半導體行業的標準EtherCAT 在半導體行業享有盛譽：的晶圓級生產設備制造商中有 12 家是 EtherCAT 技術集團 (ETG) 的成員，并在其機器和系統中使用 EtherCAT。者應用材料公司是 ETG 的創始成員，并在該協會的董事會中有代表。大型半導體制造商現在正在為其新的生產設施使用 EtherCAT。 EtherCAT 是 SEMI™ 標準，ETG 非常活躍的半導體技術工作組開發了一系列特定于行業的設備配置文件。 EtherCAT 的安全性也已進入晶圓廠。Beckhoff 是 EtherCAT 的發明者，也是基于 PC 的控制以及模塊化 I/O 組件的先*。沒有其他制造商擁有更多的 EtherCAT 專業知識或提供更多種類的 EtherCAT 設備。 TwinCAT 是 EtherCAT 主站的黃金標準，當然每個 EtherCAT 設備供應商都使用 TwinCAT 軟件作為參考。我們的解決方案體現在整個半導體行業：無論是前端還是后端，無論是芯片還是光伏，從晶圓運輸到組裝系統。我們為所有應用提供合適的 I/O 模塊、可擴展的控制器、*的驅動技術和引人注目的軟件解決方案——自然地與該行業的 EtherCAT 相結合。作為半導體行業值得信賴的合作伙伴，我們也熟悉該行業的特殊要求，例如“精確復制”。